일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리는 그림과 같습니다. 그림에서 보면 내부 구조가 로터 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로터의 중심과 실린더의 중심은 편심되어 있습니다 베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 생기게 되고, 이 공간은 로터의 회전에 따라 용적이 달라지게 됩니다. 

한쪽 베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적은 점차 커지게 되고, 다음 베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간용적은 최대가 됩니다. 이렇게 하여 흡기부로부터 빨아들인 공기는 다음 단계에서 압축이 되고 이것이 배기부를 지나면서 배출이 되는 것입니다. 로터리 베인 펌프의 최대 진공도는 1+10Torr정도의 영역에 그치고 있으나, 루츠펌프 및 확산펌프와 연결되어 고진공이 요구되는 공정에도 다양하게 쓰이고 있으므로, 오늘날 산업 전반에 걸쳐 가장 널리 쓰이고 있고 기종이라 할 수 있습니다.