Turbo MoleCular Pump

(터보 분자 펌프)


이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 회전자 와 그 사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것입니다. 터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 전자 현미경이나 각종 반도체 생산 및 실험실 장비등에 많이 쓰이고 있습니다. 그러나 중.저진공 영역에서는 배기량이 저하되므로 로터리 베인 펌프등의 보조펌프와 함께 사용되고 있는 것이 일반적입니다.